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Thermocarbon 将切割技术提升到新的水平

Tcar®864-1可编程切割锯标志着金刚石研磨技术的新纪元! Tcar® 864-1 由金刚石研磨技术的行业领导者在美国设计和制造,提供卓越的功率、精度、卡盘稳定性和无限的编程灵活性!

独立测试证明 Tcar 的高度感应系统是世界上最准确和最快的,在最严苛的负载条件下几乎绝对可靠!卡盘旋转系统结合了获得专利的制动和锁定系统,确保在任何角度都具有极其坚固的安装。

Tcar® 864-1 的弹出式 SmartGrafix® 窗口简化了复杂形状的创建,例如下图所示的圆形滤光片。

Tcar® 864-1 由有史以来最先进的切割软件控制,提供的功能可简化晶圆切割的复杂任务,从而节省您的时间和金钱。这包括以下专利功能:

Flange Clearance Stop® - 一项获得专利的程序可防止在切割操作期间刀片适配器的周边与工件的顶面发生碰撞。在实际进行任何切割之前输入切割深度时,此功能也处于活动状态。
Wafer Zero® - 直到现在,将晶圆放在卡盘上居中一直非常困难且耗时。获得专利的Wafer Zero®可自动将原始位置从卡盘转移到需要的晶圆中心。
AlignOffset® -(在这里对齐/在那里切割)允许在晶圆图稿的任何部分上进行对齐,而无需实际在那里进行切割。第一次切割是在距对齐位置指定距离 ( align offset® ) 处进行的。切割空白基板时,最好将切口与晶片边缘对齐,同时将切口放置在晶片边界内的给定距离处。将获得专利的Align Offset®设置为距空白基板边缘所需的任何最小距离,并完全消除沿基板外边缘的无意掠过,从而节省切割刀片。
订购信息- Tcar® 864-1 可编程切割锯包括一个精密法兰、五个 Dicemaster® 高品质金刚石刀片和为您的操作量身定制的夹头设计。

上面的圆形滤光片是利用 Tcar® 864-1 的多种灵活性从矩形玻璃基板上切下的。

Tcar® 864-1 标准特性

“标准”功能意味着 - 无需额外费用!在提供选项的地方,只需选择最适合您在 Tcar® 864-1 上安装需求的系统。

  • 铸铁轴结构安装在坚固的花岗岩块上以提高刚性和稳定性
    独特的 X、Y、Z 和 Theta双闭环控制,具有无限的 Theta 旋转大四英寸“Z”行程
  • 强力三马力变速主轴
  • 两个带有实时图形显示的全彩色、高分辨率监视器
  • 基于 PC 的强大集成程序引入了专利功能,例如: FlangeClearance Stop®、 WaferZero®Align Offset®
  • 作为标准 Tcar® 864-1 包的一部分,您可以选择点击式高速或分场光学对准系统
  • True Illumination 系统可实现高对比度,便于查看白色或纯白色陶瓷基板上的黄金
  • 可调式电子双十字瞄准系统
  • 通过切割或晶圆进行离卡盘自动高度感应
  • X、Y 和 Theta 的直接测量能力
  • 可编程入口进给率和过切长度控制刀片进入晶圆并逐渐上升至最终进给率
  • 五个传感器保护您的投资:主轴空气、主轴冷却液、主轴温度、刀片冷却液和卡盘真空度
  • 使用导电或非导电切割刀片
  • 前面板、冷却液槽和夹盘均由不锈钢制成,并经过粉末涂层处理,可承受多年的连续运行

Tcar® 864-1 标准功能中的一小部分!

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