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Tcar-864-1 划片机圆晶划片机的切割能力及概述 

Tcar864-1可编导程划片机标志金钢石切削技术的新纪元。它由金钢石切削行业的头领在美国设计和制造,其具有功率强大,切削精度高,吸盘工作稳定,无限编程灵活性的特点!

 独立的检测证明,Tcar装置的高度传感系统是世界上精确度最高、速度最快的,并在恶劣的负载条件下稳定运行。吸盘的回转系统装有获专利的制动和闭锁装置,确保支座在任角度的稳定性。

Tcar 864-1设备是由当今最为先进的划片软件进行控制的,简化了晶圆划片机的复杂操作,从而节省了时间和成本,其中包括专利技术特点:

法兰防碰装置(Flange Clearance Stop)是一项专利技术,是防止在切割作业时刀片连接器的边缘与工件的顶端相碰撞。当切割到一定的深度时,就会凸显这一特点。

晶圆对中装置(Wafer Zero) -截止目前,吸盘上的晶圆对中一直是既困难又耗时的操作。专利晶圆对中装置可在作业需要时将起始位置从吸盘自动对准晶圆中心。

找正装置(AlignOffset) -( 找正/切割)可不必做一个实际的切口,就可对晶圆工件任何部分进行找正。首次走刀是根据找正位置定距。当切割晶圆基板(blank substrates)时,应找正晶圆的边缘,同时把切口置于晶圆边界内确定的距离上。将专利找正装置调整到离晶圆基板边缘最小的距离上,彻底清除沿衬底外缘上的粉渣,这样可以节省刀具。

 

订货信息-Tcar864-1可编程划片机包括精密法兰,5Dicemaster高质量金钢石刀片和便于操作的具有个性化的吸盘。

 

Thermocarbon 公司 服务工程师会帮助客户选择其合适的划片刀。所有的划片刀均为电传导,除非另有说明。

欲知更多有关金刚石划片刀、圆晶划片机及其附件的信息,请联系我们

 

标准特点意味着没有附加的费用。在选择装置时,只选择在你的Tcar 864-1划片机需要安装的装置。

  • 铸铁轴,安装在花岗岩基座上以保持其稳固性

    独立的XYZθ(Theta) 双闭回路控制,装有不受限制

 θ(Theta)的回转机构及四吋Z移动装置。

  • 功率强大的3马力变速主轴。
  • 两台高清晰度监视器,可进行实时图文显示。
  • 多功能基于PC程序可介绍诸如法兰防碰装置(Flange Clearance Stop) , 晶圆对 中装置 (Wafer Zero )和找正装置 ( Align Offset)的专利产品。
  • 找正系统,即Point-and-Click High Speed Split-Field Optic可作为标准的Tcar 864-1整套设备的一部分供客户选择..
  • 照明系统具有良好 的对比度,易于观察白色衬底或坚固的白色陶瓷衬底上的金色。
  • 可调节的双十字电子瞄准系统
  • 切口位置或晶圆确定的吸盘高度自动传感系统
  • XY θ方向上进行直接测量功能
  • 可编程刀片给进速率和过度切割系统可控制划片刀进刀量
  • 5个传感器保护你的设备:主轴的气流,冷却剂、温度、刀片冷却剂、吸盘的真空度
  • 感应或非感应刀片
  • 前面板、冷却剂槽和吸盘均由不锈钢制造 并经粉末涂层处理,以延长设备的使用寿命。

 


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